10月30日,市计量测试院江苏省纳米材料及微纳加工产业计量测试中心的一项科研成果《计量型微米级X射线坐标测量机空间分辨力标准器的研制》在2024年第10期《计量学报》上发表。
X射线坐标测量机主要用于无损检测和无损评估领域,可以在无损伤条件下对各种材料进行检测,包括金属、非金属、复合材料和纳米材料等,可以清晰、准确地展示被检测物体内部的结构、组成、材质及缺损状况,如裂纹、气孔、夹杂物等,在工业生产和质量控制中具有重要的应用价值。
江苏省纳米材料及微纳加工产业计量测试中心技术团队针对目前X射线坐标测量机空间分辨力标准器精度不高、难以溯源的问题,积极开展科研攻关,基于线对卡法,利用光刻和电感耦合等离子体刻蚀技术,研制出了多尺寸栅格结构校准器,并利用扫描电子显微镜实现了标准器的量值溯源。在此基础之上,采用3D打印技术设计了栅格结构校准器的可拆卸封装结构,对栅格标准器进行保护,方便其推广应用。
目前,该项科研成果通过了江苏省计量协会组织的科学技术成果评价,已经运用到实际计量检测工作中。